氦质谱检漏仪的结构组成
氦质谱检漏仪——质谱室
不同类型的氦质谱检漏仪的质谱室结构大同小异，都是由离子源、分析器和收集器三部分组成，它们放在一个抽成高真空的质谱室外壳中。
1）离子源
离子源的作用是使气体分子电离，形成一束具有一定能量的离子。它由灯丝（阴极）、离化室及离子加速极组成。
灯丝在真空中通电加热后发射电子，在离化室与灯丝之间的电场的作用下，电子加速穿过离化室顶部狭缝进入离化室，在离化室中与气体分子发生多次碰撞后损失能量，然后打到分子电离形成正离子，正离子在离化室与加速极之间的电原U（即离子加速电压）作用下，相继穿过离化室正面的矩形狭缝和加速极的矩形狭缝，由于加速电场对离子做的功转变为离子的动能，便形成具有一定能量的离子束。这样检出一个漏孔可以使氦信号迅速消失以便继续进行检漏，提高了仪器的检漏效率。由于离子是由中性气体分子失去Z个带负电荷e的电子而形成的，所以离子电荷为正的Ze。由于各种气体的离子均受同一电场的加速，当它们的电荷量相等时，它们的能量相等，但由于质荷比不同，故运动速度也就不同。
2）分析器
分析器作用是使不同质荷比的离子按不同轨迹运动，从而将它们彼此分开，仅使氦离子通过其出口隙缝。分析器由一个外加均匀磁场及一个出口电极组成。磁场方向与离子束入射方向垂直。
3）收集极
收集极是对准出口电极狭缝安装的，其作用是收集穿过出口电极狭缝的氦离子并通过一个电阻输入到小电流放大器进行离子流的放大和测量。如果泄漏造成内外没有压差，外部潮湿气体有可能进入，而破坏氧化锌片特性。由于氦离子一般只有10-13~10-12A，要使小电流放大器输入信号电压足够大，则输入电阻必需很大（一般高于1010欧），放大用的静电计管必须要高度绝缘，所以把高阻及静电计管放在高真空的质谱室中。
氦质谱检漏仪——电气部分
除了主机供电部件和主机控制部件，还有几组主要电路：
1）离子源电源。为离子源提供加速、聚焦、拒斥电压。
2）发射电流稳定电路。稳定和调节发射电流。
3）离子流放大器和音响报警器。将离子流进行放大并将输出信号送入输出仪表或显示器和音响报警器。
4）真空测量电路。一般用热偶计测量低真空，用冷阴极磁控入电真空计测量高真室。
5）灯丝保护电路。当质谱室正常工作压力被破坏后，立即切断灯丝供电回路，以保护灯丝。
6）其他电路。不同型号的检漏仪所具有的功能不尽相同，所以电路也有不少差加，这在各自的说明书中都有说明，这里不同赘述。
氦质谱检漏仪——检漏方法介绍
氦检是通过氦穿过漏孔来检漏的，所以焊缝表面若存有油污、 焊渣以及设备内部的积水、污垢等都会使泄漏孔暂时阻塞而影响检测结果，因此，测试前必须设备内部清理干净及焊缝表面并用热风装置将设备内部干燥。
吸枪与质谱检漏仪之间使用金属软管连接。氦质谱检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每 1- 2 小时校验。一般采用旋片式机械真空泵，在以分子示为主泵的系统中，也有采用薄膜泵或干泵的。氦质谱检漏仪的检漏率应高于设备所允许漏率1-2个数量级。首先将设备稳固的置于明亮、透风良好的场所，连接好检漏用管路及压力表，应将压力表安装在测漏容器的顶部便于观察的位置。可先用氮气或其它惰性气体将设备压力提高， 然后用纯氦气或氦气混合气把测试设备的内压增加至测试压力且 应使设备内部至少含有10%-20%的氦气含量。测漏压力应不高于设备设计压力的2 5 %，但不低于0. 1 03MP。设备备保压3 0分钟后， 用扫描率不大于2 5 mm/秒或更慢的速度在距离焊缝表面不大于3 mm的范围内用吸枪吮吸， 并应从焊缝底部至上而行。
管板等焊缝较多或检测面积较大时，可将该部分用塑料薄膜完全罩住并用胶带封住，以使 泄漏的氦气进入罩中如图2所示。?正压法又称吸枪检漏，将专用吸枪接在仪器检漏口上，被检件充入规定压力的氦气（纯氦气或一定比例氦氮混合气）。在塑料罩的不同处做出小孔，在充入一定的氦气前、后各记录起初的读数，然后封住小孔，1- 2小时后在相同的位置上记录新的读数。如发现泄漏，则应按前述的方法逐条焊缝进行排查直至找到泄漏点。
