氦质谱检漏仪介绍
是专门设计的以氦气作示踪气体进行检漏的质谱仪称为氦质谱检漏仪。这种仪器除灵敏度高外，还具有适应范围广、定位定量准确、无毒、安全、反应速度快等优点。氦质谱检漏仪中用得比较多的是90°和180°的磁偏转型质谱仪。
当一个带电质点（正离子）以速度v进入均匀磁场的分析器中，如果速度v的方向和磁场H的方向相垂直，则它的运动轨迹为圆。当磁场的磁通密度一定时，不同质荷比（m/e）的离子在磁场中都有相应的运输半径，也就是都有相应的圆轨迹，这样，不同质荷比的带电粒子在磁场分析器中运动后就会彼此分开。检漏时，如果用氦气喷吹漏孔，氦气便通过漏孔进入检漏仪的质谱室中，使检漏仪的测量仪表立即灵敏地反应出来，达到了检漏的目的。如果在离大运动的路径中安置一块档板将其他离子档掉，而在对应的氦离子运动半径位置的档板上开一狭缝，狭缝后安置离子接收极，这样的只有氦离子才能通过狭缝而被接收极接收形成氦离子流，并经放大器放大后由测量仪表指示出来。检漏时，如果用氦气喷吹漏孔，氦气便通过漏孔进入检漏仪的质谱室中，使检漏仪的测量仪表立即灵敏地反应出来，达到了检漏的目的。
氦质谱检漏仪的可检漏率
当仪器处于较佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气作示漏气体进行动态检漏时所能检出的小的漏孔漏率，称为仪器小的可检漏率，用Qmin表示。
（1）所谓较佳工作条件，是指被检件出气和漏气都小，它与检漏仪连接后不会影响检漏仪质谱室的正常工作，因此不需加辅助泵。同时，检漏仪的参量也调整在较佳工作状态，这时检漏仪能发挥其较佳的性能。
（2）所谓动态检漏，是指检漏时，检漏仪的真空系统仍在对质谱室进行抽气，且仪器的反应时间不大于3s的情况。
（3）所谓小可检，是指检漏仪输出仪表上可以观察出来的微小的指示变化，即小的可检信号。这个小的可检信号主要受无规律起伏变化的仪器的本底噪声和漂移所限制。氦质谱检漏仪的检漏方法检漏的目的是确定被检件漏孔的位置和漏率，这些目的是通过采用一些标准的检漏方法实现的。本底噪声是由于仪器各参数的不稳定引起的，例台电源电压变化、真空度变化、发射电流变化、加速电压变化、放大倍数变化、外界电磁场干扰等都会引起输出仪表的不稳定摆动。漂移被认为是由于电子学上的原因引起的。如果漏入的氦气产生的输出指示的变化小于噪声和漂移之和，就很难判断究竟是漏气信号还是噪声和漂移指示，因而噪声和漂移值也就成为能否判断出漏气信号的关键值。
氦质谱检漏仪——检漏方法
随着压力容器出口产品的增加及各制造企业对产品质量的重视，氦质谱检漏仪的方法在我国的压力容器制造业中的应用也逐年递增。
氦质谱检漏方法 ( 以下简称氦检)以其高灵敏度和准确性而通常应用于整体防漏等级较高的压力容器上。质谱室壳由非磁性材料制成，内部抽空，而外部设置成磁铁形成磁分析器的磁场。氦检方法基本上可分为用氦气内部加压法和 设备内部抽真空外部施氦这两种，由于后者需将 设备完全抽成真空状态， 往往会增加测试用设备( 如高、低压真空泵、真空阀等)和设备工装 ( 如 外压加强圈)而使造价提高，所以该方法通常用于容积小而厚壁的设备;对于大多数压力容器而言，通常优先选用前一种方法。
氦质谱检漏仪使用注意事项
1.设备应在施工工作完成后进行本测试，测试完成后不得进行焊缝的修磨等。
2.若设备被浸湿或有残余的液体都会影响毛细管的泄漏而影响测试结果的真实性。
3.因氦比空气轻，因此要注意检漏的顺序，检查顺序应依照由下而上， 由近而远的顺序进行。
4.检漏过程中，如发现大量氦气进入质谱检漏仪，应立即移去吸枪，防止因仪器长时间清除不掉氦影响而延误测试。
