进口真空泵维修
是采用自主研发的真空泵，它低速转动连续排气，真空度可达到１０-1Pa，它可称为是划时代的真空泵。实现了极限真空度的全球泵浦转速.从吸气起到排气采用非接触单段压缩，其特点是可以地排除空气或煤气中所含有的粉尘雾粒，广泛用于半导体，液晶，太阳能电池，，化工等真空行业。单级结构简单，易于保养和维修，在排除凝聚性气体，腐蚀性气体和反应生成物的半导体工艺中以及在硅单晶制造的抽真空等领域也发挥着威力。
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可能引起起动困难,这时应使真空泵的抽气口通大气,用 丰转动皮带轮 (不贾接电源入使真空泵旋转数周后再起动。若是直接联真空泵,可继续动电动机数次,将真 空泵腔内的存油排入油箱,即可起动。若然不行,可用辐射加热或红外灯对真空泵直接加温,直到能动为 止。使用前,检查机械真空泵油是否到视窗的油标线位置。同时,必须检验电动机皮带轮的旋转方向。观察者正对皮带轮,皮带轮应按顺时针方向旋转
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进口真空泵维修
若反方向旋转时,可把相电源中任意二相接头对换一下 即可。否则,旋片真空泵不起抽气作用反而会把真空泵油和大气打入被抽系统,造成严重污染。工作结束后 . 应先关高真空阀,后关低真空阀 . 再停旋片真空泵,然后对其放气 (如使用电磁真空带 放气阀,可以自动放气 ) 以防止油返回到真空系统,后切断总电源 . 停水。需要通冷却水的机械真空泵 . 在开机前应先通冷却水, 然后再启动。 冷却水的出口水温不宜超过30度。
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