氦质谱检漏仪的原理
运用质谱原理制成的仪器称为质谱计或质谱仪。质谱仪通过其核心部件质谱室，使不同质量的气体变成离子并在某种场中运动后，不同质荷比的离子在场中彼此分开，而相同质荷比的离子在场中汇聚在一起，如果在适当位置安置接收所有这些离子，就会得到按照质荷比大小依次分开排列的质谱图，这就是质谱。氦质谱检漏仪的特点操作方便：体积小，重量轻，结构紧凑，操作面板简单。
用于检漏的质谱仪称为质谱检漏仪。测量气体分压力的所有质谱计，如四极质谱计、射频质谱计、飞行时间质谱计、回旋质谱计等都可以用于检漏。
氦质谱检漏仪——电气部分
除了主机供电部件和主机控制部件，还有几组主要电路：
1）离子源电源。为离子源提供加速、聚焦、拒斥电压。
2）发射电流稳定电路。稳定和调节发射电流。
3）离子流放大器和音响报警器。将离子流进行放大并将输出信号送入输出仪表或显示器和音响报警器。
4）真空测量电路。一般用热偶计测量低真空，用冷阴极磁控入电真空计测量高真室。
5）灯丝保护电路。当质谱室正常工作压力被破坏后，立即切断灯丝供电回路，以保护灯丝。
6）其他电路。不同型号的检漏仪所具有的功能不尽相同，所以电路也有不少差加，这在各自的说明书中都有说明，这里不同赘述。
氦质谱检测仪——示漏气体的选择
选择示漏气体的原则是：它在空气中及真空系统中的含量低；检漏仪对它的灵敏度高；它不会对人员、环境、被检件及检漏仪造成污染、伤害和安全隐患；价格低。
质谱检漏仪通常选择氦气作示踪气体，主要原因如下：
（1）氦在空气中及真空系统残余气体中的含量少（在空气中约含5×10-6），在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也就小，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。
（2）氦的质量小（相对分子质量为4），易于穿过漏孔。这样，氦较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大，容易发现，灵敏度高。
（3）氦是惰性气体，不与被检件器壁起化学反应，不会污染被检件，使用安全。
（4）在氦两侧的离子是氢（质荷比为2）和双电荷原子碳（质荷比为6），质荷比都与氦相差较大。这样，它们在分析器中的偏转半径相差也大，容易分开，调氦峰时，不易受其他离子的干扰，因此就降低了对分析器制造精度的要求，易于加工。同时，分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大，使更多的氦离子通过，提高了仪器灵敏度。如果泄漏造成内外没有压差，外部潮湿气体有可能进入，而破坏氧化锌片特性。
（5）氦在被检件及真空系统中不易被吸附，容易被抽走。这样检出一个漏孔可以使氦信号迅速消失以便继续进行检漏，提高了仪器的检漏效率。
氢气有些性能（如质量小、易通过漏孔）比氦还好，然而由于氢一方面有危险，另一方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产生大量的碳和氢，使氢本底极高且波动大，以致灵敏度大大降低，所以很少采用。
氦质谱检漏仪使用注意事项
1.设备应在施工工作完成后进行本测试，测试完成后不得进行焊缝的修磨等。
2.若设备被浸湿或有残余的液体都会影响毛细管的泄漏而影响测试结果的真实性。
3.因氦比空气轻，因此要注意检漏的顺序，检查顺序应依照由下而上， 由近而远的顺序进行。
4.检漏过程中，如发现大量氦气进入质谱检漏仪，应立即移去吸枪，防止因仪器长时间清除不掉氦影响而延误测试。
