真空等离子清洗机放电异常都有哪些因素造成的
为什么真空等离子清洗机放电异常：
RF等离子清洗机的核心部件是RF电源和匹配器，由于匹配器不能正常工作，可能会出现电源启动正常、腔体不放电的情况。
一、匹配器故障描述：
(1)空气电容只有：
失效原因：空气电容在运行中产生摩擦导电杂质，造成局部短路，摩擦引起动片轴损坏，无法正常调整。
(2)进口晶体管发生故障：
失效原因：与空气电容动片轴损坏、空气电容不能正常工作、射频输出阻抗不能调整、晶体管被击穿等有关;在使用过程中，对匹配器初始值调整不当、配合时间过长或真空等离子清洗机腔内辉光放电不稳定也会引起晶体管损坏。
二、匹配器日常使用注意事项：
(1)定期在真空腔内检查针头插入处，防止出现严重的氧化和断裂现象。
(2)确认真空等离子清洗机电极板放置正确，无次序错误;在使用过程中若需调整电极板的数量和间距，须确认匹配器自动匹配状态，若匹配时间长，则需调整初始值。
(3)定期确认匹配器的初值，长期使用可能会出现初值偏移的情况，需要定期确认，并根据实际情况进行调整。
(4)如果出现严重的初值偏移，则要确认配对器内部和空气电容叶片是否错位，是否有打火现象，如果出现打火，要及时处理。固定气容叶片和空气电容动片在调至*大时基本重合;如出现打火现象，确认叶片是否烧坏，如烧坏的位置可以打磨后再使用，叶片间的距离过近也会出现打火现象。
如发生电容不能调整的情况，可打开匹配器，手动控制调整电容，确认叶片电容是否能正常转动。要注意电机与空气电容的传动部分是否有不转动的现象，出现卡死要及时报修，如果齿轮和轴之间发生打滑，可先自己处理。
三、其他事项
(1)匹配器可长时间运转，平时要注意观察和清洗。要定期检查配对内部空气电容区，打开盖板，看是否有空气电容摩擦产生的杂质沉积，如有，要用无尘布+酒精清洗，因为杂质通常为导电物质，不能用气吹，以免发生打火和局部控制短路。
(2)当真空等离子清洗机匹配器发生故障时，应及时确认电极板的放置，插针公母头的放置，屏蔽盒的内部连接(是否有不良的接触，导电片是否与外壁接触，是否距离过近)，匹配器初始值的确定，内部是否干净，空气电容是否错位和着火，空气电容是否转动(是否有打滑)，传动马达是否能正常工作，RF电源是否有输出，各接线段是否短路等。如果配对器内有焦味或以上问题无法解决，请及时与专业人士联系。
(3)匹配器内部附件的使用周期不能明确确定，这与使用环境、处理产品、使用是否得当等有关，主要原因可能是匹配器内部杂质造成短路或烧伤。
