各种气体配管配件要求
在半导体体行业线宽越做越小，其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。
高纯氮气(PN2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氮气(N2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。
高纯氢气(PH2)氢气(H2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(Ar)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氦气(He)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
特气系统：必要的还需做双套管：外管酸洗钝化(AP)处理，内管电解抛光(EP)，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
对于特殊气体来讲，气体品种多，有毒有害气体多，原来是一机台配一气柜，高昂的装备组合和维修费用大大增加了投资成本，且有的还布置在工艺间内，存在着泄漏的安全隐患。现在广泛采用集中供气系统，气柜集中，自控系统不断完善，其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟，特气间也与工艺间隔离，并对房间有防爆要求，气体减压器厂商，工作的安全性大大提高。
气体汇流排体现了哪些优势?
气体汇流排是一种集中式或空气供给装置，它是唯i一的通过阀，多缸气管道连接到母线槽，以便在同一时间，在这些气体钢瓶。或减压后，后用气管道末端稳定，确保空气压力稳定气体用具的调节，实现不间断供气的目的。气车适用于大型企业的天i然气消费，原则是瓶装气排气管的软管卡箍，通过输入一个总线减压后，调节，通过管道输送至网站的使用，本产品适用于介质中的氧，氢，氮，空气，液i化石i油气，溶解乙i炔气体，主要用于工矿企业，医i疗机构，研究机构和其他天i然气消费大单位。
1、采用总线可以节省筒更换次数，降低了工人的劳动强度，节约了劳动成本。
2、让高压气体集中管理，气体减压器公司，可以减少安全隐患。
3、可以节省空间，空间的合理使用更好的。
4、容易气体汇流排管理。
气体管道设计规范
（1）氢气、氧气和煤气管道以及引入实验室的各种气体管道支管宜明敷。当管道井、管道技术层内敷设有氢气、氧气和煤气管道时，应有换气1~3次/h的通风措施。
（2）按标准单元组合设计的通用实验室，各种气体管道也应按标准单元组合设计。
（3）穿过实验室墙体或楼板的气体管道应敷设在预埋套管内，套管内的管段不应有焊缝。管道与套管之间采用非燃烧材料严密封堵。
（4）氢气、氧气管道的末端和顶端宜设置放空管。放空管应高出层顶2m以上，气体减压器，并应设在防雷保护区内。氢气管道上还应设取样点和吹扫口。放空管、取样口和吹扫口的位置应能满足管道内气体吹扫置换的要求。
（5）氢气、氧气管道应有导除静电的接地装置。有接地要求的气体管道其接地和跨接措施应按国家现行有关规定执行。
（6）管道敷设要求
① 输送干燥气体的管道宜水平安装，输送潮湿气体的管道应有不小于0.3%的坡度，坡向冷凝液体收集器。
② 氧气管道与其他气体管道可同架敷设，其间距不得小于0.25m，氧气管道应处于除氧气管道外的其它气体管道之上。
③ 氢气管道与其可燃气体管道平行敷设时，其间距不应小于0.50m;交叉敷设时，其间距不应小于0.25m。分层敷设时，氢气管道应位于上方。室内氢气管道不应敷设在地沟内或直接埋地。不得穿过不适用氢气的房间。
④ 气体管道不得和电缆、到店线路同架敷设。
⑤ 气体管道宜采用无缝钢管。气体纯度大于或等于99.99%的气体管道宜采用不锈钢管、铜管或无缝钢管。
⑥ 管道与设备的连接段宜采用金属管道，如为非金属软管，气体减压器怎么用，宜采用聚四氟乙烯管、聚氯i乙烯管，不得采用乳胶管。
⑦ 阀门和附件的材质：对氢气和煤气管道不得采用铜质材料，其它气体管道可采用铜、碳钢和可锻铸铁等材料。
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