洁净厂房使用验收后，应编写使用验收报告，其主要内容有：
1 洁净厂房中各种设施(包括生产工艺设备)等的开启状态描述;
2 测试的洁净室(区)人员及其活动情况的描述;
3 分项测试记录及分析意见(包括测试点位置、座标等);
4 测试仪器的有效校验证书;
5 验收出具相关结论。
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对于半导体工业而言，无尘室是一必要且不可缺之设备，其对空气中的粒子要求非常之严格，故对天花板、墙壁、地板的要求亦非常严格。地板是人员、台车及重量的运输，净化车间价格，而清除地板所用者大部分为消毒的药品及化学药品，净化车间多少钱，当我们看见地板磨损时，也就是使用期已太久，快破了，不仅会使得清静度的降级，维西净化车间，也会因地板的磨损而发生空气中粒子的增加。
微电子C/R建设费可能花费到$10亿。fab能更快的被建造起来，产品也就能更快达到这市场。许多半导体公司的口号是较便宜和较好的。然而“钱”将成为一个很重要的考虑因素。一些厂商认为适应性可节省一笔金钱，而适应性意指系统可任意移动或改变而不会招致到大的损失。C/R的拥有者和设计者的能力为改变一C/R的关键，所以他们从不将一开始的设计定型。
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