大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，voc废气处理设备，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子形式的安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev?，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。在强大电场能量轰击下污染气体分子化学键被打断，转化为无污染的小分子。电离后的气体分子颗粒，分子团，可以通过等离子管壁吸附下来，成液体状从设备排泄口流出。氧分子电离后重新结合成高浓臭氧，有机气体在臭氧的强氧化作用下，生成二氧化碳、水等小分子无污染成份。
废气处理设备常用的废气处理方法有吸附法、吸附法、催化燃烧法、热燃烧法等。在选择净化方法时，应根据县具体情况选择成本低、能耗少、无二次污染的方法，尽量做损益，充分回收利用部件和余热。在大多数情况下，由于石化行业尾气浓度高，采用冷凝、吸收、直接燃烧等方法。涂料施工、印刷等行业由于废气浓度低，采用吸附、催化燃烧等方法。工业废气处理设备，高压低温等离子体放电，电吸附有害有毒气体抽板，打开分子键叠加脉冲的作用下，自由基，释放臭氧活化，通过化学反应，自由组合，产生二氧化碳和水，并对人体无害的同时，也在之前和之后的设备设置各种过滤材料，根据不同的排气装置，确保充分的净化效果。
废气处理设备有机废气处理设备废气处理方法：可燃气体处理:(1)对于气体的排放，如果排放较大，应选择人少的地方，注意周围的防火，并配备相应的灭火器、沙子和水。(2)人员从钢瓶中排放可燃气体时，应站在出风口的一侧，防止气体喷涌而出伤及人员。(3)在采用燃烧方式时，应设置减压阀控制气体速度，使气体释放速度尽可能慢，以便在燃烧装置中充分燃烧。
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