用高频火花检漏器、热偶真空计检查真空度变化。火花打在规管管颈上(不可打在规管上)，由辉光颜色可判断真空度情况；正常时，泵开启后辉光颜色应由深紫、玫瑰红逐步变为浅蓝，直到辉光极微，只见玻璃的荧光，此时，真空度已较高了。在辉光转为浅蓝色后，即可改用热偶真空计监测真空度。一开始也可单用热偶真空计测量。但两者不要同时进行，以免损坏热偶规管。如果在检查时用火花检漏器在玻璃管上来回移动打不出辉光，且火花能钻入玻璃管内成线状，进口真空泵配件，说明真空度极低(近于大气压强)。如果老是呈紫色，泵的真空度也不高，应仔细检查泵的各部位，看是否橡皮管接头等处漏气。若热偶规管测真空度时有一定的指示，则可夹上铁夹子或突然停泵短时间记取压强随时间变化曲线，判断是泵不好还是漏气造成的。要认真区别漏气、放气、泵损坏三种曲线的不同情况，作仔细判断。
莱宝的SOGEVAC系列单级油封旋片泵的主要技术参数为：
抽速：10m3/h～1400m3/h
极限真空度：
SV10B，SV16B，SV25B，SV40B，SV65B，SV100B极限真空度为
lt;0.5mbar (无气镇分压强)
lt;1.5mbar (带气镇分压强)
SV200，SV300，SV500，SV630/B/BF，SV750/B，真空泵，SV1200，SV1400的极限真空度为
lt;8×10-2mbar (无气镇分压强)
lt;7×10-1mbar (带气镇分压强)
排水蒸气能力：0.3～23公斤/小时
欧瑞康莱宝的SOGEVAC系列单级油封旋片泵的主要特点有：
1、的排除水蒸气的能力。
2、出口油雾过滤器为标准配置，真空泵油循环使用，无油烟，清洁、环保、省油。
3、可以在进口压力为大气压的情况下连续工作。
4、在低压强下仍能保持高的抽速。
5、内置自动防返油阀。
6、SV630以下为风冷，不需要水冷，经济方便。
7、低噪音，低振动。
8、结构紧凑，体型小，节省空间。
真空泵使用寿命不长主要是因为没有正确的使用和日常没有注重保养的习惯。
（1）真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
（2）正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，进口水环真空泵，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。
（3）真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
（4）正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，进口罗茨真空泵，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对ya有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
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