电子混合气体和计量学上的标准气体有许多相似的特点，但又有许多不同，电子混合气体除了要保证其配制浓度的外，更需要气体具有优良的品质，换言之，电子混合气体必须要确保混合好的气体中含有的有害杂质不能高于某值。在8in以上的IC生产线，高纯氧气厂商，也应对混合气体中含有的颗粒物进行控制和定值。
1、电子混合气体的气瓶处理
同其他气体不同，对盛装电子混合气体的气瓶的要求十分严格，怀化高纯氧气，否则，即便是混合气体配制的准确度再高，稳定性再好也无法使用。
首先混合气体的气瓶几何尺雨如体积、直径、瓶高度要满足用户要求。在半导体等领域，气瓶通常安放在气瓶柜内使用，气瓶柜的尺寸及连接的管阀件确定后，气瓶的高矮胖瘦就不能随心所欲了。对于不同种类的混合气在气瓶色标、警示标志等方面国外已有极其详细的标准，如美国的CGA、欧盟的ISO等，我们国家在此方面仍在认识和完善中。
2、电子混合气体配制装置技术要求
同其他标准气体制备不同的是，配制电子混合气体的装置似乎更为复杂，电子混合气体配气装置所用的管路必须是EP级别，材质为316L，精密压力表或压力传感器精度优于0.25级，材质316L。为确保配制装置不产生污染使用前要求系统。
近年来随着国民经济的快速增长，气体分析在科学研究、工业生产和环境保护等领域有着重要而广泛的应用。各种色谱仪、质谱仪、气敏传感器在研制过程中、测试前和运行中，高纯氧气，均需要标准气体来标定和检验，或者考察分析方法的可靠性 。对于不同浓度、不同组分的混合标准气体，科研单位、计量检测部门以及广大用户均有小剂量的需求。
标准气体的配制方法很多，选择合适的配气方法在标准气体的配制过程中至关重要。气体的种类不同，所配制气体的浓度不同，选择的配制方法也不相同。标准气体的配制方法大致可分为静态配气法和动态配气法两大类。静态配气法 包括两种：一种是重量法，以气体质量为依据，利用大型断桥铝合金门窗精密天平分别称量高纯组分气体和稀释气体的质量，然后定量混合而配制标准气体的方法。另一种是容量法 。根据气体方程，按照计算好的体积对多种气体混合后加压，再充人高压气瓶中。而动态配气法 是将一定压力和体积的已知浓度的气体组分完全充人已经标定体积的气瓶中，再向其中充入非反应性、不干扰待测组分的稀释平衡气体，根据气体方程，就可以得到配制气体中组分的浓度。它还包括扩散法和渗透法 。
标准气体的特殊性，对采样有着特殊的要求，很多使用者由于采样的不规范，使得数据偏差很大，高纯氧气厂家，在这里我提供样品取样应该注意的几个方面：
1、取样管线的选择，由于胶管使用起来很方便，很多传统的进样管线都采用此类，但是众所周知，胶管对大部分有机气体，和含硫类的气体吸附性非常强，而且它的渗透性也很强，所以使用各类胶管来采样是不可取的，对分析数据造成很大偏差。建议根据不同的气体性质采用铜管、不锈钢管、四氟管而对于含硫的标准气和样品气采用内涂石英的不锈钢管。
2、样品气的置换，由于标准气都要经过减压器和管线后才能取样，要准确取样必须将减压器和管线进行充分的置换，这种置换不是简单意义上的吹扫。因为减压器的死体积很大，不断将钢瓶阀打开关闭反复3次以上，每次将减压器里的气体排尽，然后再吹扫系统才能正确取样。
3、进样管线的气密性，进样管线的泄漏，对样品的数据的准确性有很大影响，对低浓度氧气的影响更大。所以一定要严格检查取样管线的气密性。
4、试图从标准气体钢瓶中把标准气取到取样袋或其他容器中，然后再从容器中取样分析，是不可取的，这样造成了二次污染。使得样品气的数据不能真实的表现出来。
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