检漏仪全无油的干式检漏：有些国家生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。检漏仪具备强的数据监控和存储能力，为了保证更好的操作效果和数据的保存能力，在这种氦质谱检漏仪的日常运转之中可以方便的将检测的数据输出并且进行查询，氦质谱检漏仪其产品结构和操作模式等都有着显着的优势，并且还指出检漏仪近些年来已经逐步精简体积实现了更加便携化的操作设计。
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