氦气质谱仪主要表现：氦气属于惰性气体，化学性质稳定、分子式小、无毒、不烧；氦气价格低廉、易购买；我们没有看到高负荷时真空变差，也没有看到低负荷时真空变好，也就是这两个方面的因素的综合作用的结果。检漏仪精度较高，反应速度快。但氦气质谱仪现场携带较为不便；泄漏区域划定不明显。仪器选择使用应根据现场具体情况，做到将凝汽器真空系统检漏设备作用发挥。
凝汽器真空相关设备庞大，如果盲目的检漏，不仅效率低而且工作量大。当发现机组凝汽器真空恶化时，首先应该根据现场情况进行热力系统数据分析，确定真空恶化是根本原因，并根据相关系统、设备运行参数的变化，确定可能的泄漏点位置，然后在重点部位开展检漏工作，才能做到事半功倍。一般从以下几个系统进行数据分析。真空差了，协调指令还是额定负荷，那势必会造成蒸汽流量的增加，如果真空变得很差，那蒸汽流量就会增加更多，在额定负荷下，蒸汽流量只要少许增加，汽机就会过负荷，就会造成轴向位移增加等一系列不正常变化，因此，这个试验不能在额定负荷下做。
真空系统目的是建立启动真空和维持汽轮机正常运行凝汽器真空。对该系统，应重点关注以下因素：真空泵电机电流是否异常、真空泵冷却液温度情况、真空泵汽水分离器液位情况。
低压加热系统
低压加热系统的作用是将汽轮机内部分蒸汽，抽至加热器内加热凝结水，提高水的温度，减少了汽轮机排往凝汽器中的蒸汽量，降低了热量损失，提高了热力系统的循环效率。对该系统，应重点关注以下因素：低压加热器压力及其液位情况。
西安世豪电力科技有限公司与大家详述：真空检漏工作针对的就是漏气，也叫实漏，是指气体通过真空系统上的漏孔或间隙，从高压侧流向低压侧。
一个真空系统，经相当长时间抽气之后，仍然达不到预期的真空度，可能的原因有：抽气情况不良，即抽气系统本身的问题。放气，即真空系统或容器内部存在气体或气源。漏气，即真空系统或被抽容器存在漏孔或缝隙。
