1. 真空泵结构简单，组件少，故障率低。
2. 干式运转，制程气体与粉尘完全不会接触到真空油，因此能被顺利排出真空泵。
3. 真空泵真空油不与制成气体接触，不需更换真空油。
4. 采用水冷密封电机，电机温度低，电机寿命长。
5. 真空度佳，真空度可达4x10-4mbar。
6. 运转噪音低<70dBA。
7. 因为无磨擦组件，真空泵寿命长，转子与壳体不接触，运转效率高，消耗电流低。
真空泵浦 (Vacuum Pump)也可写为真空帮浦或是真空泵浦。汉钟精机PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一对互相咬合的螺旋转子，在转子间维持微小的间隙，使得真空泵浦运转时腔体内无需润滑，因而无油气回漏污染的问题。透过专利转子线形良好的密封效果，终极压力可达7.5 × 10-3 Torr。螺旋式真空泵浦由于排气路径短，粉尘移除能力较其他型式的真空泵浦强，加上转子表面披覆特殊材质的镀膜，因此可适用于PECVD、Etching等严苛制程。
干式螺旋真空泵浦 S／N型为无罩式的干式螺旋真空泵浦机型。
干式螺旋真空泵浦 S／N型的型号有：PS-80、PS-160、PS-180、PS-602、PS-902、PS-1302、PS-1802等。
干式真空泵浦 (Dry Vacuum Pump) 产品特色：
1. 泵浦 (Pump) 温度控制
干式螺旋真空泵浦，承袭上一代真空泵浦优良的转子设计，同时改善壳体的冷却方式，采用水套间接水冷的方式来降低壳体的温度，能够更地控制泵浦内部温度，减少沉积物的产生，增加真空泵浦 (Vacuum Pump)的寿命。
2. 密封马达安全性高
真空泵浦亦采用专利设计的水冷罐装密封马达，除了能维持更低的马达运转温度增加马达的寿命外，也可完全避免制程气体外漏的风险。
3. 微电脑控制保护周全
真空泵浦亦可配备微电脑控制器，可同时监控马达电流、马达温度、壳体温度、冷却水流量、氮气流量以及齿轮箱油位高低，提供真空泵浦完整的安全性保护，适用于光电、半导体、太阳能与TFT-LCD等产业。
东莞市普莱德真空设备有限公司，位于广东省东莞市寮步镇，我司专业销售各类型真空泵、进口真空泵配件及进口真空泵保养与维修，工程师有十多年的工作经验，特别精通于各式进口真空泵维修，如：德国莱宝（Leybold);德国贝克（Becker);德国里其乐/伟力（Rietschle);德国普旭（Busch);日本爱发科（Ulvac);日本卡西亚玛（Kashiyama);日本荏原（EBARA);法国阿尔卡特（Alcatel);英国爱德华（Edwards)等。
业务范围：进口真空泵的销售、保养和维修服务的一条龙服务，如：德国莱宝（Leybold);德国贝克（Becker);德国里其乐/伟力（Rietschle);德国普旭（Busch);日本爱发科（Ulvac);日本卡西亚玛（Kashiyama);日本荏原（EBARA);法国阿尔卡特（Alcatel);英国爱德华（Edwards）和Pfeiffer普发真空泵等各式进口真空泵维修，以及各品牌真空泵的配件销售。公司在真空泵维修、真空泵配件、真空泵叶片、真空泵油雾分离器、真空中央系统等有多年的技术经验，特别是进口真空泵维修、进口真空泵配件、进口真空泵油雾分离器、进口真空泵旋片、进口真空泵叶片、进口真空泵等有更专业的进口产品优势。
