压电陶瓷微位移器是利用逆压电效应制作的新型的固态执行器件,在精密光学、微型机械、微电子技术、计算机应用等高新技术领域获得广泛应用[lj。这些应用领域的发展要求压电陶瓷器件向体积小、驱动电压低、位移量大、能集成化的方向发展。
压电陶瓷微位移器是利用逆压电效应制作的新型的固态执行器件,在精密光学、微型机械、微电子技术、计算机应用等高新技术领域获得广泛应用[lj。这些应用领域的发展要求压电陶瓷器件向体积小、驱动电压低、位移量大、能集成化的方向发展。
如今,气体流量传感器种类比较多,有节流式、容积式、涡街式、电磁式、热式、超声波式等若干种。多数是采集流体的温度、压力等信号,再换算成流量。但由于气体流动状态不稳定,使气体流量传感器的流量测量准确性受到影响。而由美国的科学家发明的插入式气体流量传感器,为流量的测量带来了一场革命,实现了直接测量流体质量流量的目的。随着科学技术的不断发展, 气体流量传感器变得体积小,低成本,稳定性好,功耗低,可被批量制造。
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