凹凸面曝光显影价格-利成感光五金-长安凹凸面曝光显影

产品编号:62463755 修改时间:2020-04-05 02:25
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公司主营: 曝光显影工艺,加工五金制品
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铣刀品种:刨刀:一般为多晶碎石机,长安凹凸面曝光显影,厚度m,平均厚度为m。竹即可打磨切割;整条机齿则不需要,目前该类机器均采用新的芯片。竹机:用于粉煤灰时能有效地屏蔽粉煤灰的杂质,易于清理。三、刨刀用途:适用于各种化学砂浆切割等多种加工方式。

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1.预喷淋:为了提高后面显影液在硅片表面的附着性能,先在硅片表面喷上一点去离子水。

2.显影喷淋:在硅片表面涂覆显影液。为了将显影液均匀地涂覆到硅片表面上,凹凸面曝光显影公司,显影喷嘴分为以下几种:E2喷嘴,LD喷嘴,GP喷嘴,MGP喷嘴等。

3.显影液表面停留:为了让显影液与光刻胶进行充分反应,显影液喷淋后需要在硅片表面停留一般为几十秒到一两分钟。

4.显影液去除并且清洗:达到显影时间后,使用DIW立即冲洗晶圆表面。去离子水不仅可以使显影过程终止,而且会把显影后缺陷颗粒冲洗掉。在冲洗过程中,晶圆旋转产生的离心力也对去除表面颗粒有很大的帮助。图1.13是一个典型的去离子水冲洗工艺。

5. 甩干:为了将表面的去离子水甩干,将硅片转到高转速





所谓显影点,发生在光阻曝光后以显影液显影的过程中,当所要去除的所有光阻区域都恰好去除时,这个作业点就是显影点。显影点的前后,受到显影设备速度、喷压、药液温度、药液浓度、光阻特性等影响。要获得良好显影效果,保证显影良好、分辨率恰当,凹凸面曝光显影加工,除了要有良好曝光,一般都会将显影点设在设备长度50~80%的位置,以免显影过度或不足。


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