自1902年在德国帕德博恩建立了第YI大规模水厂以来，世界上已有数千个臭氧水厂，在欧洲已达到普及的程度，美国、加拿大、日本等国家都在大力发展臭氧处理饮用水工程。1980年加拿大蒙特利尔建成世界zui大的臭氧水处理厂，日供水量230万吨，臭氧用量300kg/h。zui新资料介绍，臭氧发生器单产量已达300kg O3/h，足够一个中等城市饮用水厂消毒使用。
我国由于经济发展水平限制，自来水厂应用臭氧消毒工艺比较少，北京、上海、抚顺等地在20世纪80年代建立了几个水厂，以北京田村水厂规模zui大，臭氧装机总量15 kg/h，1997年昆明建成我国zui大的臭氧水厂，臭氧装机总量33 kg/h，对提高供水质量发挥了重要作用。我国一些大型企业自供水采用臭氧消毒工艺比较积极，如大庆、胜利油田、燕山石化等臭氧水厂都在运行。
大量研究表明，臭氧化会改善水的可生化性，增加水中有机营养基质的含量，具体表现为水的生物可同化有机碳(AOC)和可生物降解的溶解性有机碳(BDOC)浓度升高，影响程度也与原水水质、臭氧化条件有关。虽然残余消毒剂可在一定程度上限制管网中的xi菌生长，但在有机营养基质浓度较高时，xi菌仍会再度繁殖，臭氧水处理原理，并附着生长在管壁上形成生物膜，增加水中xi菌总数，况且有些xi菌危害性更大，从一定程度上影响自来水的微生物安全性。 目前常规处理工艺去除有害臭氧化副产物的研究很少，更无现成经验可借鉴，臭氧水处理杀菌，这又提出了新的 臭氧化应用问题
我国瓶装水采用臭氧消毒净化，杀菌净化工艺较为普遍，粗略估算，矿泉水、纯水、洁净水厂一千多家，约60%采用臭氧杀菌工艺。由于技术监督、防疫部门已形成共识，没有臭氧设备的瓶装水厂将很难在市场上竞争。随着瓶装水市场的发展，臭氧水处理应用，国内发展了一大批臭氧设备生产企业。臭氧发生器、投加混合设备品种繁多，质量参差不齐。其关键在于处理水应达到（2.7～
4.5）×10-5mol/L(0.3～0.5mg/L)的臭氧溶解度值，臭氧水处理，这首先要求投加臭氧量应满足1m3
水2g O3的条件，同时必须保证水气充分接触并保持一定时间。根据实践经验，臭氧发生浓度高于8 mg/L时容易达到溶解度要求
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