压电物镜定位器是专门为物镜聚焦显微而设计的,采用无回差柔性铰链并联导向结构设计,物镜补偿量较小,具有超高聚焦稳定性,物镜定位器装入显微检测/测量或者观测装置可以带动镜片聚焦提高精度,可与多种高分辨率的显微镜配合使用。
P76系列为大负载压电物镜定位器,承载力大可达500g,并带动大负载物镜做高速运动。闭环精度高,满行程线性度达20nm,可进行激光聚焦,已广泛应用于激光晶圆切割等半导体器件及微电子加工领域中。
特性
• 位移行程110μm • 负载500g • 响应速度快
可装配多种品牌、尺寸的物镜
多种螺纹牙尺寸可选,可配置不同品牌的物镜,也可选择螺纹牙转接器进行转接。
响应时间可调节
配不同控制与承载响应时间可调。
可装配多种品牌、尺寸的物镜
多种螺纹牙尺寸可选,可配置不同品牌的物镜,也可选择螺纹牙转接器进行转接。
响应时间可调节
配不同控制与承载响应时间可调。
应用
• 高速聚焦 • 图像处理 • 共焦点显微镜
• 半导体检测 • 激光加 • 干涉形状测量