MEMS电容式微惯性传感器因其具有尺寸小、灵敏度高、稳定性好、温度漂移小、功耗低、很好的工作在力平衡模式下等等优点，在军事、汽车工业、生物医学、消费电子、惯性导航等领域得到广泛的应用。 本首先分析了电容式微惯性传感器的测量控制原理和系统动态模型，并在此基础上通过三个方面设计出新型嵌入横向可动电极的微惯性传感器，分别是：支撑梁结构、微执行器结构和检测电容结构。通过分别对以上三方面不同结构模型的分析对比，在传感器设计中选用U形梁结构作为传感器的支撑梁，电磁执行器作为驱动力，气体压力传感器，梳栅结构作为检测电容结构。
其中为了克服深反应离子刻蚀关于深宽比不能做大的限制和降低噪声，详细介绍了电磁驱动增大传感器初始检测电容的工作原理，通过嵌入可动电极和电磁驱动作用减小电容间隙，结果表明，电磁驱动使得传感器的电容间隙减小4μm，初始检测电容由1.28pf增大到6.4pf。 根据以上理论分析和参数设计，进气压力传感器，给出了新型电容式微惯性传感器的整体结构模型，并利用有限元软件Ansys进行。结果表明所设计的传感器在非敏感方向上梁的刚度较大，轴向交叉效应得到了有效抑制；传感器的静态位移灵敏度为0.659μm/g，施加电磁驱动前后的电容灵敏度分别为0.15pf/g和0.192pf/g，增大为原来的1.28倍；同时应力分析结果表明，传感器能够抵挡1000g的加速度信号的冲击而不被损坏。之后利用电磁分析软件ANSOFT-Maxwell分析了边缘效应对传感器性能的影响，表明小尺寸的传感器电容的边缘效应不可忽略。
激光雷达传感器用于自动驾驶成本下降26%
据外媒报道，韩国汽车供应商Carnavicom在2020年CES展上展示了其研发的激光雷达传感器。Carnavicom主要为汽车市场提供高级驾驶辅助系统（ADAS）组件。
（图片来源：Carnavicom）
由于在本地采购无刷直流电机（BLDC）、激光二极管（LD）和雪崩光电二极管（APD）等零部件和关键部件，Carnavicom的新款激光雷达扫描传感器的平均成本下降了26％，从而导致激光雷达传感器能够以合理的成本集成至其他激光雷达产品和应用中。
Carnavicom展示了先进的VL－AS16激光雷达传感器，这是一款适用于自动驾驶环境的16通道扫描装置。此外，汽车压力传感器，Carnavicom还展示了研发的3通道激光雷达，而且宣布计划推出价格合理、波长为1550nm的固态激光雷达装置以及多功能工业专用激光雷达。在激光雷达传感器的帮助下，通过检测前方的行人和骑自行车的人等障碍物，越秀区压力传感器，自动驾驶汽车可以安全行驶，并避免发生碰撞事故。
Carnavicom公司的首席执行官Jeremy Chong表示：“我们一直在研发先进激光雷达传感器，表明了我们始终把车辆乘员和行人的安全放在首位。”自2001年成立以来，Carnavicom公司一直在发展壮大。为了部署ADAS技术，2019年，Carnavicom公司投资了40亿韩国打造SMT生产线，希望能够使激光雷达传感器的年产能超过180万台。
IC 传感器可在-55°C至 150°C的温度范围内工作 -- 精选的几种IC传感器工作温度可高达 200°C。有各种类型的集成式IC传感器，不过四种常见的集成式IC传感器当属模拟输出器件、数字接口器件、远 程温度传感器以及那些具有温控器功能的集成式IC传感器(温度开关)。模拟输出器件(一般是电压输出，但有些也具有电流输出)在其需要ADC来对输出信号 进行数字化处理时像无源解决方案。数字接口器件常使用两线接口(I2C或PMBus)，并具有内置的ADC。
除了也包括一个局部温度传感器外，远程温度传感器还具有一路或多路输入以便监测远程二极管温度 -- 它们常被置于高度集成的数字IC(例如，处理器或现场可编程门阵列【FPGA】)中。当达到温度阈值时，温控器可提供简单的警报。
使用IC传感器有许多好处，包括:功耗低;可提供小型封装产品(有些尺寸小到0.8mm×0.8mm);还可在某些应用中实现低器件成本。此外，由于IC传 感器在生产测试过程中都经过校准，因此没有必要进一步校准。它们通常用于健身跟踪应用、可佩戴式产品、计算系统、数据记录器和汽车应用。
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