由于Parylene涂层材料是在真空下沉积而成，是裂解的分子重新聚合形成的防护材料，属分子级的生长，生成的涂层致密稳定、摩擦系数小，且随着涂层生长厚度的增加，摩擦系数减小。在厚度为0.5μm时，摩擦系数仅相当于硅涂覆层的一半，微电极派瑞林镀膜，厚度为2μm时的摩擦系数，微电极派瑞林镀膜，仅相当于0.5μm厚涂层摩擦系数的1 /4。
Parylene 材料有良好的物理和机械性能，其和常用涂层的物理和机械性能比较如表 1 所示，从表中可以看出，其抗拉强度、线膨胀系数、硬度数值等参数相对稳定，变化范围小，摩擦系数较小。
派瑞林真空镀膜（CVD）技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术，是表面工程技术领域的重要突破。随着制造业高速发展，真空镀膜技术应用越来越广泛。从PCBA电路板、LED、显示器、触摸屏、太阳能光伏、化工、制药等行业的发展来看，对真空镀膜（CVD）设备、技术、材料需求都在不断增加，包括制造大规模集成电路的防护膜；数字式纵向与横向均可磁化的数据纪录储存膜；充分展示和应用各种光学特性的光学膜；计算机显示用的感光膜；TFT、PDP平面显示器上的导电膜和增透膜；建筑、汽车行业上应用的玻璃镀膜和装饰膜；包装领域用防护膜、阻隔膜；装饰材料上具有各种功能装饰效果的功能膜；工、模具表面上应用的耐磨超硬膜；纳米材料研究方面的各种功能性薄膜等。
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