| 型号 | SQC-100 |
|---|---|
| 流量量程(N2) | 0~5,10,20,30,50,100,200,500SCCM |
| 0~1,2,3,5,10,15,20,30SLM | |
| 精度 | ±1%F.S.(≤15SLM);±2%F.S.(>15SLM) |
| 控制阀动作型式 | 常闭式 |
| 线性 | ±1%F.S.(≤15SLM);±2%F.S.(>15SLM) |
| 重复精度 | ±0.2%F.S. |
| 响应时间 | ≤1sec |
| 输入输出信号 | 0~5V |
| 电气接头 | DB15 pin(针形) |
| 工作环境温度 | 5~45℃ |
| 工作压差 | 0.05~0.5MPa(MFC);0.03~3.0MPa(MFM) |
| 漏率 | 1*10-8SCCS(He) |
| 大耐压 | 3MPa |
| 介质接触材质 | 316不锈钢和密封材料 |
| 密封材料 | 氟橡胶,硅橡胶,丁腈橡胶,聚四氟乙烯,金属密封 |
| 接头尺寸 | VCR 1/4";Swagelok 1/8";1/4";φ3,φ6mm |
| 电源要求 | +15V,50mA;-15V,200mA |
气体质量流量控制器
产品编号：28323888
修改时间：2018-04-17 15:43 发布IP：111.225.241.174 访问统计：1次
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规格参数
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