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射频等离子体增强化学气相沉积（RF-PCVD）

在低压容器的两极上加高频电压则产生射频放电形成等离子体，射频电源通常采用电容耦合或电感耦合方式，其中又可分为电极式和无电极式结构，电极式一般采用平板式或热管式结构，汽车配件真空镀膜设备，优点是可容纳较多工件，但这种装置中的分解率远低于1%，即等离子体的内能不高。电极式装置设在反应容器外时，主要为感应线圈，如图5，也叫无极环形放电，射频频率为13.56MHz。

镀膜机工艺在装饰品方面的运用跟着经济的开展和生活水平的进步，大家喜爱将手表壳、表带、服饰、灯饰、眼镜架、室表里装饰件、五金箱包、手机壳、手机视屏、卫生洁具、食品包装等装饰品精饰得五光十色。

镀膜技能在飞机防护涂层方面的运用飞机的钛合金紧固件，原来选用电镀办法镀镉。但在镀镉中含有氢，所以在飞翔进程中，遭到大气、海水的腐蚀，镀层上简单发生"镉脆"，甚至导致"空难"。1964年，选用离子镀办法在钛合金紧固件上镀铝，处理了飞机零件的"镉脆"疑问。在离子镀技能中，因为给工件施加负偏压，能够构成"伪分散层"、细化膜层安排，环保真空镀膜设备，因而能够显著进步膜层的耐腐蚀功能。

随着市场和研究人员的要求，随着基于传统工艺的新系统的出现，新的涂料性能得到了发展。即使通过蒸发工艺获得的沉积速率是理想的，但事实是，溅射沉积技术在质量和沉积速率方面取得了无疑的进步，台湾真空镀膜设备，响应了对此领域感兴趣的行业和研究人员的需求，甚至用作中间层，用于通过化学气相沉积（CVD）获得的其他涂层。

CVD是另一种在真空下沉积的方法，并且是使待沉积材料中的挥发性化合物与其他气体发生化学反应的过程，以产生沉积在基材上的非挥发性固体。