真空镀膜设备，主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。维护真空镀膜机不可少的一个环节，当发现真空镀膜机腔体漏气的时候，能及时排查处理，显得非常得重要。一般真空室内漏气都是从室壁上的一些小孔或部件之前的连接位细缝中产生，当抽气系统抽气后使真空室内压强下降，外部与内部的压强差使气体从压强高的外部流向压强低的真空室内，造成真空度下降。
真空镀膜设备由许多不同的零件组成，真空镀膜设备，它们都是经过各种机械加工完成的，例如车铣、刨、磨、镗、焊接等。真空镀膜设备选购因素
1、真空系统由机械泵、扩散泵、增扩泵、油增压泵、埚轮分子泵等及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成。
2、根据工艺要求选择不同规格及类型的镀膜设备，其类型有电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。
真空镀膜机日常维护保养环节，不可少，真空镀膜设备公司，维护保养环节做的好，自然机器也更健康，效率也就更高。
真空镀膜机日常维护保养
1、每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。
方法：用（NaOH）饱和溶液反复擦洗真空室内壁，（ 注意人体皮肤不可以直接接触溶液，以免灼伤）目的是使镀上去的膜料铝（AL）与NaOH发生反应，反应后膜层脱落，真空镀膜设备，并释放出氢气，再用清水清洗真空室和用布沾清洗精抽阀内的污垢。
2、当粗抽泵（滑阀泵，旋片泵）连续工作一个月（雨季减半），需更换新油。
方法：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，电子真空镀膜设备，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量（油视镜观察）。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。
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