检漏的重要性
氦质谱检漏仪是一种精度很高的不停机查漏仪器，具有灵敏度高、抗干扰、不污染环境(以前的卤素检漏污染环境)、不危及安全生产(以前的烛光法不适用于氢冷发电机)等优点。泄漏和密封相对应，很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。如真空设备(真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等)，需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，正压氦气检漏仪，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱中的雪种容器等等)，要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，正压氦气检漏仪价格，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。
氦质谱检漏仪的真空系统
氦质谱检漏仪真空系统一般包括：
1、主泵：一般用护散泵或涡轮分子泵。极限压力小于5×10-4Pa，正压氦气检漏仪品牌，其抽速应导气载匹配。
2、前级真空泵：一般采用旋片式机械真空泵，在以分子泵为主泵的系统中也有采用薄膜泵或干泵的。极限压力小于1×10-1Pa，抽速导主泵匹配。
3、预抽真空泵：一般与前级真空泵共用一个泵，也有预抽真空泵的。预抽真空泵一般采用旋片式机械真空泵，其抽速视被检件大小而定，因此预抽真空泵大都由用户自配。
4、冷阱：分子泵型真空系统一般不加冷阱。护散泵型真空系统的冷阱加在质谱室、检漏口与扩散泵之间，使三者被冷阱隔离。冷阱加入液氦(-196℃)后便可阻止扩散泵的油蒸气和被检件来的水蒸气进入质谱室，保持质谱室的清洁，并帮助扩散泵迅速获得较高真空。
氦质谱检漏仪的结构
氦质谱检漏仪的电气部分。氦质谱检漏仪除了主机供电部件和主机控制部件外，还有几组主要电路：
1、离子源电源。为离子源提供加速、聚集、拒斥电压。
2、发射电流稳定电路。稳定和调节发射电流。
3、离子流放大器和单响报警器。将离子流进行放大并将输出信号送入输出仪表或显示器和音响报警器。
4、真空测量电路。一般用热偶计测量低真空，用冷阴极磁控放电真空计测量高真空。
5、灯丝保护电路。当质谱室正常工作压力被破坏后，立即切断灯丝供电回路，以保护灯丝。
6、其他电路。不同型号的氦质谱检漏仪所具有的功能不尽相同，所以电路也有不少差别，这在各自的说明书中都有说明。
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