大型磁控溅射镀膜设备-至成镀膜设备制造厂家-镀膜设备

产品编号:61891387 修改时间:2020-03-30 19:38
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真空镀膜机磁流体密封组件的安装


真空镀膜机磁流体密封组件的安装与使用:密封组件安装与使用时应注意注意被装的密封组件与轴的同轴度要求、磁流体的注入量应适当、安装前既应对组件进行必要的真空清洗处理、密封组件泄漏时检查:

1、注意被装的密封组件与轴的同轴度要求,借以保证密封间隙具有较小的偏心量。

2、磁流体的注入量应适当,在保证各级密封间隙中具有足够量的前提下,不可过多地注入磁流体,以防抽空时多余的磁流体进入真空室内,污染真空室。


3、安装前既应对组件进行必要的真空清洗处理,又应注意防止乙醇等清洗剂滴入磁流体密封组件内,以免引起密封组件的失效。

4、如发现密封组件泄漏时应从如下几点进行查找:a、磁流体是否失效;b、连接法兰与组件内静密封圈是否受到损坏;c、极齿齿型是否与转轴接触产生干摩擦;d、转轴与密封组件是否连接不当产生同轴度移位;e、磁铁是否退磁等。



真空镀膜机的检漏方法


真空镀膜机厂家介绍查看漏气状况是确保真空镀膜机真空度的一项查看办法,简称检漏,真空度的凹凸是直接影响到镀膜作用的,所以检漏是必不可少的。

通常真空室内漏气都是从室壁上的一些小孔或部件之前的衔接位细缝中发生,当抽气系统抽气后使真空室内压强降低,外部与内部的压强差使气体从压强高的外部流向压强低的真空室内,形成真空度降低。真空镀膜机厂家介绍在检漏的过程中,需求注意一些问题,才能把检漏作业做好。



真空镀膜机冷却配套冷水机的作用


真空镀膜机冷却配套冷水机的作用是维持真空镀膜机器的温度,使其工作达到高精度、高效率控制温度的目的。以前在没冷水机的情况下,自然水和水塔散热都不可避免地受到自然气温的影响,而且此方式控制是极不稳定的。因此,可以说冷水机是真空镀膜设备中非常重要的配套冷却设备,因为冷水机直接关系到真空镀膜机工作效果的好坏。

真空镀膜机为什么要配套冷水机?

这个要从真空镀膜工作原理查看:膜料在高温下蒸发落在工件表面结晶。由于空气对蒸发的膜料分子会产生阻力造成碰撞使结晶体变得粗糙无光,所以必须在高真空下才能使结晶体细密光亮,如果真空度不高结晶体就会失去光泽,结合力也很差。

冷水机设有制冷系统和冷却水循环系统,水温在5℃~30℃范围内调节控制,可以达到高精度、高效率控制温度的目的。其冷却原理是:制冷系统将水冷却,再由水泵将低温冷却水送入真空镀膜机进行降温,冷水机冷冻水将热量带走后温度升高再回流到水箱,达到冷却的作用。


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