磁控溅射镀膜设备-金华镀膜设备-至成镀膜设备厂家供应

产品编号:60631261 修改时间:2020-03-20 22:51
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真空镀膜机的全新发展真空泵与隔膜泵机械密封的安装与使用


真空镀膜机的发展相当迅速,随着生产率的提高,生产费用大大降低,已经为真空镀膜产品的普遍使用铺平了道路。

以卷绕式真空镀膜机为例,刚开发时可镀的薄膜基材宽度是150mm,目前已达2253mm。基材卷筒的大卷径是1000mm,大卷绕速度750m/min。自动装卸的半连续卷绕式真空镀膜机镀膜时间占整个周期的75%,辅助操作时间只占25%。随着计测技术、控制技术的进步和电子计算机的应用,卷绕式真空镀膜机正向着高度自动化和高度可靠性的方向发展。

真空镀膜机真空镀膜机能够沉积的镀膜层厚度范围为0.01-0.2,可以在这个范围内选择,有的还可以镀多层膜,满足多种需要。日本专利提出沉积两种不同镀膜材料的卷绕式蒸镀装置。该装置的真空室分为上室,左下室和右下室。蒸镀时,两组蒸发源蒸发的镀膜材料分别沉积在塑料薄膜上,在塑料薄膜没有蒸镀的一侧,装上辉光放电发生器。发生器产生的辉光放电气体能防止塑料薄膜起皱。使用这套装置可以在极薄的塑料薄膜上镀上无折皱的多层膜,用于制磁带和薄膜太阳能电池等。



真空镀膜机漏气检修


真空电镀设备漏气问题我们应该如何进行检修呢?真空电镀设备漏气对于设备本身是有大的影响的,因此我们要及时的进行检修维护。

1、要测试好真空室内气体密封性能的比例,确保气密性能够符合要求。

2、然后检查真空镀膜漏孔大小、形状和漏气速度,分析出解决方案并且可以实施。

3、要确认真空电镀漏气是真漏还是虚漏,因为在工件材料加热之后会在不同程度上产生一定的气体,有时候会误以为是从外部流进的气体,这就是虚漏,我们要排除这种情况。

4、确定检测仪器小的检漏率和捡漏灵敏性,以大范围检测出漏气的情况,避免一些漏孔被忽略,提高检漏的准确性。

5、后还要避免真空电镀漏孔的堵塞,有时候因为操作失误,真空电镀在捡漏中,会有一些灰尘或液体等把漏孔给堵塞了,以为在那位置没有漏孔,但当这些堵塞物由于内外的压强差异提高或会使漏孔不堵了,但是漏气还是会存在的。



真空镀膜机原理和各部件分析


真空镀膜机是目前制作真空条件应用为广泛的真空设备,一般用真空室、真空机组、电气控制柜三大部分组成,排气系统采用“扩散泵 机械泵 罗茨泵 低温冷阱 polycold”组成。至成真空科技专业从事真空镀膜设备的研发与生产拥有经验丰富的技术团队及优质的售后服务队伍为您解决设备在使用过程中遇到的任何问题。

真空主体——真空腔根据加工产品要求的各异,真空腔的大小也不一样,目前应用多的有直径1、3M、0、9M、1、5M、1、8M等,腔体由不锈钢"target=_blankgt;不锈钢材料制作,要求不生锈、坚实等,真空腔各部分有连接阀,用来连接各抽气泵浦。

二、辅助抽气系统:排气系统为镀膜机真空系统的重要部分,主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三大部分组成。此排气系统采用“扩散泵 机械泵 罗茨泵 低温冷阱 polycold”组成。排气流程为:机械泵先将真空腔抽至小于2、0*10-2PA左右的低真空状态,为扩散泵后继抽真空提供前提,之后当扩散泵抽真空腔的时候,机械泵又配合油扩散泵组成串联,以这样的方式完成抽气动作。


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