直接电解法 将硫、二氯化liu、一氯化硫、二liu化碳或等加入到无水氟化氢中，六氟化硫公司，以镍为阳极进行电解即可制得六氟化硫。用与无水电解时，以镍作极，六氟化硫，铁作阴极，温度为－10～20℃，电压为7～20V。电解产物应除去杂质;催化氧化法 金属氧化物为催化剂，于300℃下，用空气氧化四氟hua硫，该法缺点是收率过低。
热解法，在500～2000℃使SF4热解，六氟化硫制备，但该法的转换率及收率皆低，采用微波放电分解SF4亦可。氟hua钴法 将硫磺或其他硫化物在三fu化钴和二氯hua钴存在下与过量氟作用以制备六氟化硫。二氧化硫与氟燃烧法。联产法 氯氟代甲烷和六氟化硫联产，氟化碳（COF2）与六氟化硫联产。
如果六氟化硫气体中含有超过规定的水分，当其湿度发生变化时，就可能凝结在固体绝缘表面使该面变潮，这时设备的沿面放电电压将显著下降。六氟化硫气体在电弧和电晕作用下分解生成的低氟化合物气体，假如没有水分子这个外部条件是不会生成SO2、HF及其它有害物质的，从而也就可以避免由它们产生的设备腐蚀。所以，设备充装六氟化硫气体必须严密措施防止水分进入。
SF6气体的分子具有很好的电负性，能够捕i捉自由电子形成负离子，因此SF6气体的灭弧性能是空气的100倍，大型电力设备中大多使用SF6断路器而不是空气开关。纯品的六氟化硫气体灭弧后能够迅速恢复还原，所以可以在设备中反复使用，六氟化硫处置与储存，非常适合需要频繁操作的场所。但是如果SF6气体质量不合格，杂质尤其是水分超标，出现六氟化硫微水过多的问题，在高压电弧的作用下，就会生成亚硫酸、等有毒腐蚀性产物。六氟化硫气体水分的危害非常大！
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