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蚀刻工序可分为:碱性蚀刻、酸性蚀刻及微蚀三种，今天江海工程师和大家聊聊关于影响碱性氯化铜蚀刻液的那些因素。
1) 蚀刻机理： CuCl2 4NH3→Cu(NH3)4Cl2 ?
Cu(NH3)4Cl2 Cu→2Cu(NH3)2Cl ?
2) 影响蚀刻速率的因素：蚀刻液中的Cu2 浓度、pH值、氯化铵浓度以及蚀刻液的温度对蚀刻速率均有影响。
a、Cu2 离子浓度的影响：Cu2 是氧化剂，所以Cu2 的浓度是影响蚀刻速率的主要因素.研究铜浓度与蚀刻速率的关系表明：在0~82g/L时，蚀刻时间长；在82~120g/L时，蚀刻速率较低，且溶液控制困难；在135~165g/L时，蚀刻速率高且溶液稳定；在165~225g/L时，溶液不稳定，趋向于产生沉淀。?
b、溶液pH值的影响：蚀刻液的pH值应保持在8.0~8.8之间，当pH值降到8.0以下时，一方面对金属抗蚀层不利；另一方面，蚀刻液中的铜不能被完全络合成铜氨络离子，溶液要出现沉淀，并在槽底形成泥状沉淀，这些泥状沉淀能在加热器上结成硬皮，低钾钠氯化铵用途，可能损坏加热器，还会堵塞泵和喷嘴，给蚀刻造成困难.如果溶液pH值过高，蚀刻液中氨过饱和，游离氨释放到大气中，导致环境污染；同时，溶液的pH值增大也会增大侧蚀的程度，低钾钠氯化铵，从而影响蚀刻的精度。
c、氯化铵含量的影响：通过蚀刻再生的化学反应可以看出：[Cu(NH3)2] 的再生需要有过量的NH3和NH4Cl存在，如果溶液中缺乏NH4Cl，大量的[Cu(NH3)2] 得不到再生，蚀刻速率就会降低，以致失去蚀刻能力。所以，氯化铵的含量对蚀刻速率影响很大。随着蚀刻的进行，要不断补加氯化铵。?
d、温度的影响：蚀刻速率与温度有很大关系，蚀刻速率随着温度的升高而加快.蚀刻液温度低于40℃，蚀刻速率很慢，低钾钠氯化铵钨钼钒冶炼，而蚀刻速率过慢会增大侧蚀量，影响蚀刻质量；温度高于60℃，蚀刻速率明显增大，但NH3的挥发量也大大增加，导致污染环境并使蚀刻液中化学组分比例失调.故温度一般控制在45~55℃为宜。
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