BT-USP-D250C双源超声雾化热解喷涂技术文件

超声雾化热解喷涂设备是一款薄膜沉积设备, 可用于制备单元氧化物、多元氧化物、I-VI、IIV-VI、III-VI、IV-VI、 V-VI双元硫族化合物、三元硫族化合物薄膜制备. 如ZnO、SnO2、MgO、NiO、Cr2O3、TiO2、CdS、CdTe、CdxZn1-xS、 Cu2ZnSnS4等. 适合物理、材料、微电子类专业开展专业基础实验、专业实验、开放实验和学生毕业论文、科研工作. 超声雾化热解喷涂设备由超声雾化器、薄膜沉积室、管路组件、控制组件等部分构成. 采用不锈钢制造, 薄膜样品污染程度小.

BT- USP系列超声雾化热解喷涂薄膜制备设备根据用户不同的需求，有不同的型号，基本型号有I、II、IIA、IIB四种。其中BT-USP-D250C-II型是标准配置，主要系统参数如下：

反应室：D300×H300，304不锈钢，双层水冷结构，D100真空观察窗，上翻盖设计，预留两路KF25接口供用户选用；

衬底结构：304不锈钢衬底托，可旋转，转速可显可调；

碘钨灯加热，温度范围RT-600℃，控制精度优于±1℃；

雾化系统：304不锈钢材质，雾化频率1.7MHz，功率可调可显；

雾化腔体数量2，载气流量、雾化功率独立调节；

前驱体溶液自动供料，液位高度电子控制，保证稳定雾化量；

气路系统：小型空气压缩机提供过滤空气为载气，配置有三路其它载气接入管路和混气，支持用户用瓶装高压气体作为载气。流量控制采用玻璃浮子流量计；

冷却系统：循环式冷却系统，不锈钢水箱，静音大功率泵驱动；

控制系统：独立标准19寸机柜，关键操作电路具有自锁功能，防止误操作导致的以为损坏。

电 源：整机功率4Kw，220VAC 50Hz

其他：机架采用功率铝型材，美观轻便。下部配有高强度可移动支脚，方便移动。操作台面镜面不锈钢板，美观耐腐蚀占地面积1.6m²，重量180kg；

注：非标或特殊功能可定