超高分辨率曝光系统
00001. 从初设计到样品制备完成，实现高速样品加工，提高产量
00002. 智能设计：设备占地面积小，且集成环境屏蔽罩
00003. 创新的、未来安全型系统架构
00004. 专业的电子束曝光系统，可实现每小时1cm2的高速曝光，高性价比
eWrite技术
Raith新推出的eWrite技术结合了专业电子束光刻的光学系统和创新的图形发生器设计，该技术适用于研发及批量生产的所有工作。
VOYAGER 产品详情
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主要应用: · 高速直写 · 衍射光学元件 · 防伪元件 · 批量加工化合物半导体器件
样品台: · 6“ 移动范围 · Z方向移动范围大 |
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电子枪技术: · eWrite · 电子 · 50 kV
独特直写模式: · traxx 长线条无写场拼接曝光模式 · periodixx周期结构无写场拼接曝光模式 |
