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Raith 150 Two 高分辨电子束曝光系统
产品编号:37423626
修改时间:2019-07-16 11:17 发布IP:113.104.205.167 访问统计:1次
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所属公司: |
深圳市蓝星宇电子科技有限公司 更多产品 |
公司主营: |
半导体工艺设备,紫外线UV光清洗设备,太... |
联系人: |
廖敬强 |
联系电话: |
0755-29698758 13538131258
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在线咨询: |
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品牌: |
德国 Raith |
价格: |
面议 |
发货期限: |
自买家付款之日起 3 天内发货 |
产地: |
深圳行业设备代理加盟 |
发货地址: |
深圳市宝安区沙井街道工和第四工业区A6栋7楼 |
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Raith 150 Two 高分辨电子束曝光系统的详细介绍
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详细介绍 |
Raith 150 Two作为高分辨电子束曝光系统,自推出以来全球销量不容忽视。该系统被广泛地用于研发和纳米技术中心,已证明了系统的24/7使用的稳定性。
Raith 150 Two可实现亚5nm的曝光结构,可处理8”晶元及以下样片。
环境屏蔽罩保证了系统的热稳定性,提高设备对实验室环境的容忍度,即使在相对糟糕的实验室环境下,也能保证系统的正常稳定运行。
超高分辨曝光及成像
00001. 小于8nm曝光
00002. 低电压曝光及成像
00003. 系统自动化程度高
00004. 大可处理8"样片
00005. 隔墙安装 / 热稳定性
研发及小批量生产
软硬件的高自动化程度保障了小批量生产中进行简单且可重复性的曝光工作。
Raith 150 Two 高分辨的电子光学柱结合多种探测器可实现对准标记识别和过程控制中前所未有的灵活性。
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免责声明:"Raith 150 Two 高分辨电子束曝光系统"由深圳市蓝星宇电子科技有限公司自行提供,真实合法性由发布企业负责,环球贸易网对此不承担任何保证责任。
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