等离子净化器又称低温等离子废气净化器，在电催化总的设计概念下，分三个即独立又混成的激发系统：微波激发区、等离子激发区、极板激发区。每个激发区有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。
低温等离子净化设备的工作原理
等离子废气净化器产品，采用高压发生器形成低温等离子体，等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的 放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。
放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态。等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。在平均能量约5eV的大量电子作用下，通过净化器的苯、甲苯、H2S、CS2、SO2等有机废气分子转化成各种活性粒子，与空气中的O2结合生成H2O、S、CO2等低分子无害物质，使废气得到净化。
低温等离子净化设备的特点
1、净化效率高，性能稳定。
2、设备风阻低≤300Pa，无需增大抽风设备，投资低。
3、维护保养简便，成本低，耗电小。
4、安全可靠，设备采用敞开式排放形式，不设封闭高压，高温区。
5、使用寿命长，安装简便，操作过程实现全自动化。
6、处理风量3000m3/h-80000m3/h以上。
低温等离子净化设备使用方法：
等离子废气净化器操作十分简便，新安装的废气处理器经本公司调试合格后，使用前客户只要先检查整个管道系统，防止系统存在漏风现象。然后清除等离子净化器工作范围内可能存在的易被吸入的如塑料袋等杂物。接着接通电源，电源指示灯亮，显示正常，即可启动净化器开关，则净化器进入净化工作状态。