TA-830D型是一款配置无油干泵的氦质谱检漏仪。适用于对高清洁的真空设备进行检漏
干泵式氦气质谱真空检漏仪TA-830D主要技术指标
小可检漏率：5×10-13Pa·m3/s
漏率显示范围：1×10-3—1×10-13Pa·m3/s
启动时间：≤3min
响应时间：≤1.0s
检漏口的高压力：1500Pa
干泵抽速：10m3/h（166L/MIN）
极限压强：5×10-4Pa
电源要求：220V，50Hz，单相，10A
工作环境：5-35℃
相对湿度：≤80%
外形尺寸：550（W）×420（D）×700（H）
重量：65kg
干泵式氦气质谱真空检漏仪TA-830D主要配置
1.干泵检漏仪专用分子泵
2. 英国爱德华干泵
3. 配置标准漏孔
4. 美国AD放大器
5. 采用质谱专用模块
6.台达触摸彩屏
