P32系列是θx,θy,Z轴三维运动压电偏转镜,柔性铰链的机构设计,具有分辨高,响应速度快等特点。偏转运动大行程6mrad, 闭环型号可实现微弧度偏转精度,产品适用于干涉及光束偏转与稳定等应用。
特点:
• θx, θy, Z 三维 • 开环/闭环可选 • 体积小巧 • 响应速度快工作原理
P32偏转镜是基于3个压电陶瓷机构设计而成的,由三支压电陶瓷驱动,以120°角平分放置,采用坐标变换,运动可以分不同机构之间控制。这种结构设计除了可实现平台的倾斜,也可实现平台Z向的直线移动,可以用于校正光学路径长度。其中,A、B、C表示测量的3点处位移量,两轴摆角及Z向位移。P34系列为θxθy轴二维精密压电偏转镜,大偏转角度达6mrad,大可承载镜片外径80mm,多种规格型号可选,可满足光学偏摆与稳定等实验中不同行程、负载及频率的需求。
特点:
• θx, θy 轴 • 开环/闭环可选 • 可承载大镜片 • 响应速度快工作原理
偏转镜(两轴)是基于4个压电陶瓷结构设计而成,每轴采用两个压电陶瓷,以推拉模式形成偏摆运动,采用桥式连接电路控制。四个执行机构(压电促动器)以90°角平分放置,是成对的差异控制分布形式。通过差分结构的设计可以在大范围的温度变化下保持良好的角度稳定性,这样就可以保证温度的变化仅能影响到平台的垂直方向定位,而对角度定位则没有影响,在闭环下,可以保证系统的线性度和分辨率。P31系列为θxθy轴二维精密压电偏转镜,大偏转角度达25mrad,大可承载镜片外径50mm,多种规格型号可选,可满足光学偏摆与稳定等实验中不同行程、负载及频率的需求。
特点:
• θx, θy 轴 • 开环/闭环可选 • 可承载大镜片 • 响应速度快
P22系列是一维θx轴运动压电偏转镜,采用紧凑型结构设计,具有亚微弧度分辨率,毫秒级响应时间等优点。可用于单轴高速扫描等应用。
特点:
• θx一维运动 • 大偏转角度4mrad • 开环/闭环可选 • 响应速度快