等离子废气处理设备是一门包含放电物理学、放电化学、化学反应工程学及真空技术等基础学科之上的交叉学科。因此, 目前能成熟的掌握该技术的单位非常的少。大部分宣传采用低温等离子技术处理废气的宣传都不是真正意义上的低温等离子废气处理技术。
等离子废气处理设备在废气净化的通道上必须充满了等离子体。这条规则判断很简单，只要用眼睛观察一下处理通道是否充满紫蓝色的放电就可以直观的了解是否是低温等离子体了需要注意的是不要将各种颜色的灯光当作电离子体放电）。如果在废气处理的通道上只零星的分布若干的放电点或线，则处理的效果是非常有限的，因为，大部分的气体没有进过等离子废气处理设备处理区域。低温等离子体处理系统必须要有一定的放电处理功率。要想分解VOCs没有一定的能量是不可能的。
等离子废气处理设备根据风量来选择：风量是决定选型的重要因素之一，设备处理风量小于实际风量，则会造成部分废气未经处理就排放，达不到排放标准；反之，由于处理风量大于实际风量，造成不必要的处理费用，增加运行成本根据废气成分来选择：不同的废气成分要选用不同的设备型号，常见的废气成分不同设备都能处理，特殊的的成分就需要特殊的设备来处理了，否则很容易处理不达标；根据空间来选择：如果设备处理空间大，则直接选择性价比高的型号就行，如果受到空间限制，则应该选择体积小的设备型号来处理。
