Prime Wafer、Test Wafer、Dummy Wafer
1、Crystalline structure 晶体结构：Monocrystalline
2、Growth Method 生长方式：Cz
3、Dopant 掺杂剂：B or P or As or Sb
4、Conductance type 导电类型：P or N
5、Orientation 晶向 ： <100>±0.5º or <111>±0.5º or <110>±0.5º
6、Resistivity 电阻率：：0.001-1000 Ω.cm（Customer Std）
7、Diameter 直径：100mm or 150mm or 200mm or 300mm
8、Thickness 厚度：Customer Std
9、TTV 总厚度变化：≤5 um
10、BOW 弯曲度：≤30 um
11、Warp 翘曲度：≤30 um
12、Global TIR (um)平整度：≤4
13、RRG：Customer Std
14、ORG：Customer Std
15、Surface metals：≤5E10 atoms/cm2
