光氧等离子净化器又称低温等离子废气净化器。
低温等离子空气净化机是推出的空气强力杀菌净化除臭技术， 低温等离子体技术是一个集物理学、化学、生物学和环境科学于一体的交叉综合性技术，该技术显著特点是对污染物兼具物理效应、化学效应和生物效应，且有能耗低、效率高、无二次污染等明显优点。其净化作用机理包含两个方面：
一是在产生等离子体的过程中，高频放电所产生的瞬间高能足够打开一些有害气体分子的化学能，使之分解为单质原子或无害分子；
二是等离子体中包含大量的高能电子、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的自由基，这些活性粒子和部分臭气分子碰撞结合，在电场作用下，使臭气分子处于激发态。当臭气分子获得的能量大于其分子键能的结合能时，臭气分子的化学键断裂，直接分解成单质原子或由单一原子构成得无害气体分子。同时产生的大量?OH、?HO2、?O等活性自由基和氧化性极强的O3，与有害气体分子发生化学反应，终生成无害产物。
所谓等离子体是继固体、气体、液体三态后，列为物质的第四态，由于离子、负离子、电子和中性离子组成，因体系中正负电荷总数相等，故称为“等离子体”。
非平衡态等离子体电子温度可上万度，离子及中性离子可低至室温，即体系表现温度仍很低，故称“低温等离子体”，一般由气体放电产生。
气体放电有多种形式，其中工业上使用的主要是电晕放电（在去除废气中的油尘上应用已相当成熟）和介质阻挡放电（用于废气中难降解物质的去除）两种。
在本机组前置处理单元中，采用了电晕放电及辉光、电子流放电为主的方式，在降低气体流速的前提下，通过初步的降解、极性分离和气流整理，进行预处理。实际上，在本机组中我们使用的低温等离子体主要采用的放电形式为双介质阻挡放电（Dielectric Barrier Discharge,简称DBD）。
介质阻挡放电时，由于电极不直接与放电气体发生接触，从而避免了电极的腐蚀问题。
低温等离子体技术处理污染物的原理为：在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、离解和激发，然后引发一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变为无毒无害或低毒低害物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在1eV～10eV，适当控制反应条件可以实现使一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。其能量传递过程为：
电场+电子——>高能电
高能电子+分子（或原子）——>受激电子、受激分子、自由基——>活性基因
活性基因+分子（或原子）——>生成物+热
活性基因+活性基因——>生成物+热
