有机热蒸发镀膜机介绍
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真空:极限真空6*10 -5 帕
工作真空6*10 -4 帕
恢复工作真空时间:连接手套箱≤10分钟
不连接手套箱,充干燥氮气≤30分钟
本套设备配有8个有机源及2个金属源
金属蒸发源和有机蒸发源可按客户要求配置
膜厚探头及膜厚仪有国产或者进口可选
金属蒸发源配有1000w电源
有机蒸发源配有可控温电源,控温精度±1℃
OLED有机无机联合蒸发系统介绍
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OLED有机无机联合蒸发系统
设备用途 :
适用于制备金属单质薄膜、半导体薄膜、氧化物薄膜、有机薄膜等,可用于科研单位进行新材料、新工艺薄膜研究工作,也可用于大批量生产前的试验工作。与手套箱联合系统的用户群体为科研院所及实验室,将真空蒸发系统工作室置于Glove box无水、无氧、无尘的超纯环境中,PVD与Glove box硬件无缝对接,操控融合一体,广泛应用于有机、无机、钙钛矿薄膜太阳能电池、OLED等研究领域
设备组成:
该设备主要由有机/金属源蒸发沉积室、真空排气系统、真空测量系统、蒸发源、样品加热控温、电控系统、配气系统等部分组成。
技术要求:
1、镀膜室:镀膜腔室尺寸约为600×450×450mm,不锈钢材料,方形前后开门结构,内带有防污板。
2、抽气系统:采用分子泵 机械泵抽气系统;
3、有机源蒸发源4个,束源炉生产厂家,容积5ml,2台蒸发电源,可测温控温,加热温度400℃,功率0.5Kw;
3、挡板:蒸发源挡板采用自动磁力控制方式,控制其开启;
4、样品架系统:可放置大小为Φ120mm的样品,旋转速度为:0~30转/分;
5、设备带有断水断电连锁保护报警装置、防误操作保护报警装置。
6、无机蒸发源2套、容积5ml,2台蒸发电源,加热电流300A,功率3.2Kw;
7、石英晶振膜厚控制仪:膜厚测量范围0-999999?
ZF450型全自动热蒸发镀膜机
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选用3~8组蒸发源可适配金属材料、有机化合物蒸发。广泛运用于高等院校材料、物理学、有机化学、电子器件、电力能源等有关课程及其科研单位制取高品质作用塑料薄膜、蒸镀电级等,非常合适OPV/钙钛矿/无机物太阳能薄膜充电电池、半导体材料、有机化学EL、OLED显示信息科学研究与开发设计行业。
1.前开关门真空内腔,便捷拿取基片、拆换蒸发舟、加上蒸发材料及其真空室的平时维护保养;
2.1200L/s分子泵做为主抽泵,真空限达到5×10-5Pa;
另可选择進口磁悬浮分子泵或是低温泵做为主抽泵,束源炉价格,真空限达到 3×10-6Pa;
3. 组水冷器蒸发电级,可长期平稳工作中,束源炉,适配金属材料材料与有机化学材料的蒸发源设计方案,
源间有避免交叉式环境污染挡板;
4. 真空蒸发开关电源,恒流电源/恒输出功率操纵。可保持一键启动和终止的自动控制系统作用;
5.较大120mm基片/15~25mm ITO/FTO夹层玻璃25片,可订制一体化高精密刻蚀掩膜板;
6.基片台自转,转速比0~25rpm持续可调式;
7. 衬底可挑选加温或水冷散热,源基距较大350mm;
8. 选用進口膜厚监控器仪在线监控和操纵蒸发速度、膜厚;
9. 可堆积金属材料(Au, Ag, Al, Ca, Cu, Mg, Fe, Cr, Ni等)、非金属材料、化学物质(MoO3, LiF等)
及有机化合物材料, 可扩展堆积单面膜、双层膜及混和膜;
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